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半导体车间一般要达到什么净化级别

2023-10-28 23:19:41   编辑:超级管理员  出处:科瓦特

  半导体车间一般要达到较高的净化级别,通常是在ISO14644-1标准中规定的特定级别。根据ISO14644-1标准,半导体车间一般要达到ISO5级(等同于旧版FS209E标准的Class100级)或更高的净化级别。

  在ISO14644-1标准中,不同的净化级别对空气中的微粒数量有不同的要求。例如,ISO5级要求每立方米空气中的粒子直径大于0.5微米的数量不超过3,520个,直径大于5微米的数量为0个。而更高级别的净化要求则更加严格。

  实现这样高净化级别的半导体车间通常需要采取一系列的净化措施,包括但不限于:

  1.安装高效过滤器和空气净化设备,如HEPA(高效颗粒空气)过滤器和ULPA(超高效颗粒空气)过滤器,以去除空气中的微粒。

  2.控制和维护恒定的温度、湿度和压力,以保持稳定的环境条件。

  3.确保车间内的清洁程度,包括定期清洁地面、墙壁、设备和工作台等。

  4.限制人员进入车间,并采取适当的工作服、鞋套和手套等防护措施,以减少人员带入的微粒。

  这些净化措施的目的是为了保证半导体制造过程中的产品质量和可靠性,因为微小的颗粒可能会对半导体器件的性能产生重大影响。因此,半导体车间需要达到较高的净化级别来确保良好的生产环境。


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